SEMOZON? AX8575 多通道臭氧輸送系統(tǒng)，帶機(jī)架內(nèi)冷卻器

SEMOZON? AX8575 是一個完全集成的高輸出臭氧氣體輸送系統(tǒng)，可配置為多通道系統(tǒng)，為多達(dá) 4 個通道提供臭氧，支持多個腔室或多個工具。它有一個可選的機(jī)架內(nèi)冷卻器，用于超高濃度。

? 在更高流速下提供高達(dá) 350g/Nm3 的濃度

? 只需少的連接即可實(shí)現(xiàn)快速、輕松的安裝和快速啟動

? 模塊化設(shè)計允許每個通道進(jìn)行過程匹配以獲得 很大的靈活性

? 閉環(huán)濃度控制提供更嚴(yán)格的過程控制以提高產(chǎn)量

? 帶有觸摸屏的用戶友好型控制器提供簡單的中央控制，用于與工具、臭氧濃度和流速監(jiān)測以及安全監(jiān)測的接口

? MKS 的、經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的臭氧發(fā)生技術(shù)在該系統(tǒng)中實(shí)施，以確保可靠性

主要優(yōu)勢

? 環(huán)保解決方案可還原為無害 O2，無需進(jìn)行危險化學(xué)品處理

? 在使用點(diǎn)生成，無需存儲或運(yùn)輸

? 由于還原電位高，通過減少氧化時間來提高產(chǎn)量

? 支持單個或多個工藝工具，以實(shí)現(xiàn) 很高效率和更低的運(yùn)營成本

參數(shù)

類型：臭氧氣體輸送系統(tǒng)

臭氧輸出：350g/Nm 3

流量：40 平方毫米

原料氣：氧氣、氮?dú)猓偭髁康?20 - 100 ppm）

原料氣供應(yīng)壓力：標(biāo)稱50 psig (3.5 kg/cm 2 )， 很大 60 psig (4.2 kg/cm 2 )，N2 壓力比 O2 壓力高 10 psi

原料氣純度： 很低 99.9995%

工作溫度：41 - 104°F (5 - 40°C)

所需冷卻水溫度：12 - 21°C 有冷卻器，5 - 17°C 沒有冷卻器

需要冷卻水過濾：100 微米過濾 PWC（帶冷卻器）

所需的冷卻水質(zhì)量：1 - 3 MOhm DI，注： 很大 DI 水/乙二醇混合物：70/30

所需的冷卻水 很小流量：標(biāo)稱 10 gpm（水調(diào)節(jié)閥范圍：2 - 10 gpm）帶冷卻器，每臺發(fā)電機(jī) 2.5 gpm（取決于配置）不帶冷卻器

需要冷卻水連接：1 英寸壓縮 (Swagelok?)

所需冷卻水熱負(fù)荷：10 kw（基于兩臺發(fā)電機(jī)配置）帶冷水機(jī)，每臺發(fā)電機(jī) 5 kw 不帶冷水機(jī)

電壓要求：208 伏交流電 (±10%)，三相

當(dāng)前要求：31 安培 RMS，50 安培服務(wù)（取決于配置）至少 10,000 AIC，60 安培服務(wù)，帶冷卻器

頻率50/60 赫茲

排氣流量：150 立方英尺/秒（70.8 升/秒）

排氣類型：SEMI 類別 4（危險氣體或蒸氣的意外或緊急釋放）

排氣靜壓： 很小 0.10 英寸（2.54 毫米）H2O，在機(jī)柜上的管道法蘭適配器底部測量

控制氣壓：70 - 100 磅/平方英寸

控制空氣類型：CDA 或干燥氮?dú)猓?0μm 過濾

控制空氣接頭：1/4 英寸壓縮 (Swagelok?)

排氣連接：6 英寸直徑管道開口或 4 英寸直徑管道開口

尺寸：24 x 75 x 36 英寸（610 毫米 x 1575 毫米 x 914 毫米）（寬 x 高 x 深）

相對濕度：30 - 90%（非冷凝）

重量：600 lbs.(272 kg) 用于配備一臺發(fā)電機(jī)的系統(tǒng)，880 lbs.(400 kg) 用于配備四臺發(fā)電機(jī)的系統(tǒng)，1100 lbs. (499 kg) 用于帶有兩臺發(fā)電機(jī)和內(nèi)部冷卻器的系統(tǒng)

遵守：CE, S2 - 0302, F47

高度：平均海平面以上 3280 英尺（1000 米）